罗茨真空泵与前级泵的组合

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摘要:罗茨真空泵一般分成两大类,一类为干式罗茨真空泵,一类为湿式罗茨真空泵。湿式罗茨真空泵不配前级泵,而干式罗茨真空泵则需要配前级泵组成机组。所以,在谈到运行时,必然要联系到罗茨真空泵机组。

罗茨真空泵与前级泵的组合

罗茨真空泵一般分成两大类,一类为干式罗茨真空泵,一类为湿式罗茨真空泵。湿式罗茨真空泵不配前级泵,而干式罗茨真空泵则需要配前级泵组成机组。所以,在谈到运行时,必然要联系到罗茨真空泵机组。

组成罗茨真空泵机组,罗茨真空泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。如前所述,罗茨真空泵的压缩比很有限。当入口压强在100Torr一直到大气压时,压缩比为2.15;当入口压强为10-1Torr时,压缩比可达40。

在考虑机组组成时,首先要考虑罗茨真空泵入口压强范围,假设是lOTorr,可知大容许压缩比为8,这一压缩比决定着前级泵的容量,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2-10内选取。

另外,应当考虑对预抽时间的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵(压缩比可大些),假若真空室较大,而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,工作正常后再关掉它。

为了提高真空度,有时把两个罗茨真空泵串联使用,选二者的抽速比为2- 5。如果压缩比选大了,前级泵就很小,不利于系统的预抽,而且当第一级罗茨真空泵反压强提高时,容易造成第二级罗茨真空泵超负荷。

当用水环泵作前级泵时,罗茨真空泵与其匹配的抽速一般选在2-4倍之间。一般前级泵多采用旋片泵、滑阀泵和水环泵并与罗茨真空泵组成机组。

如前所述,如采用油封式机械泵作前级泵,用油作介质,很不经济。如真空度要求不很高的场合,则可采用水环泵作前级泵,因水环泵工作介质是水,很经济。

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