如何计算真空泵的有效抽速

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摘要:Q为真空系统的总气体量,Pa.g/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

根据真空系统要求的工作压力P。、真空系统的总气体量Q,计算泵的有效抽速

S=Q/Pg
     式中,Q为真空系统的总气体量,Pa.g/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。
    (2)确定真空泵的抽速。
 根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sq由流导串联公式有
1/S=1/Sv+1/U

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