真空泵配置前级泵知识

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摘要:罗茨真空泵不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力,由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是相当重要的。

罗茨真空泵不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力,由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是相当重要的。罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,最大压缩比最多大3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。因此,选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气,要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

应考虑预抽时间的要求

如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,机组装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。

应考虑对罗茨真空泵机组的极限压力的要求

是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

还应考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的

如果含有腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组,此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

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